南京智群光电技术有限公司依托国家工信部光学计量、国家重大仪器专项、国家重点研发计划等 科技项目的资助,广泛与国内科研院所、高校、企业合作,经过十余年的技术积累与研发,成功研制出集合垂直扫描干涉与高精确度移相测量的白光显微干涉仪,相关技术授权专利 20 多项。该装置为光机电算一体化的三维形貌检测仪器,配备了拥有自主知识产权的一系列不同倍率的干涉显微物镜,同时搭载自主开发的用户友好型中文操作界面,具有高稳定性、高可靠性、易操作性等特点,实现了垂直测量分辨率优于0.1nm,横向测量分辨率达到 0.5μm的高精度快速测量。
白光显微干涉仪和关键核心部件,已经在我国大学、国防院所、计量部门获得多例成功应用,相关 技术指标与国外同类设备水平相当,完全可以替代进口;近红外显微干涉仪是我国独有首创,有力解 决了在微纳结构检测领域面临的“卡脖子”问题。